電子束曝光機(jī)
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電子束光刻機(jī)將用于芯片量產(chǎn)？
實(shí)際上，電子束曝光機(jī)并非一個(gè)新的事物，當(dāng)前技術(shù)也已經(jīng)很成熟了。電子束曝光指使用電子束在表面上制造圖樣的工藝，是光刻技術(shù)的延伸應(yīng)用。
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