光罩廠
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光罩國產(chǎn)化：五年變了天地
除了基板材料外，電子束光刻膠，化學(xué)特氣，各種電子級化學(xué)前驅(qū)體等耗材在2020年以前也都是依賴進口的，目前已有數(shù)種開始實現(xiàn)國產(chǎn)化并在國內(nèi)光罩廠得到應(yīng)用和推廣，例如點亮準分子激光使用的氬氪氖氣體。
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