裝備零部件
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全國首支集成電路裝備零部件基金成立
本次簽約成立的集成電路裝備零部件基金是全國第一支以集成電路裝備零部件成果轉(zhuǎn)化項目和早期項目為投資標(biāo)的的基金。
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