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EUV光刻太貴,替代方案被考慮
目前業界認為,EUV加上先進的193i技術,如SADP和SAQP,將能夠繼續擴展到上述5納米技術以下。
EUV
NIL
DSA
替代品
半導體行業觀察
2022-11-04 13:38
挑戰EUV光刻?NIL靠譜嗎!
芯片制造離不開光刻機,且制程越先進,其重要性越凸出,占芯片制造總成本比例也越高。
芯片
EUV
NIL
半導體行業觀察
2021-10-28 16:38
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