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中國光刻機之殤：入華 32 年，ASML 已出貨 700 多臺，但 EUV 被美國盯死，1.2 億美元也難買
中國需要光刻機，尤其是支持先進制程的高端光刻機。具體來說，就是 EUV （極紫外光源）光刻機。張江高科投資國產光刻機企業上海微電子，持股10%
張江高科通過全資子公司張江浩成創業投資有限公司持有“上海微電子”10.779%股權，為其第四大股東。
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